特許

J-GLOBAL ID：201103062251637783

レーザー駆動光源

発明者： 住友 卓 ,  安田 幸夫 ,  横田 利夫
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 吉雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-013956
公開番号（公開出願番号）：特開2011-119200
出願日： 2010年01月26日
公開日（公表日）： 2011年06月16日
要約：

【課題】 本発明は、管球内に封入した放電媒体にレーザー光線を集光し、レーザー光線によって放電媒体を励起してプラズマを生成するレーザー駆動光源において、管球内に生成したプラズマに吸収されずにそれを透過したレーザー光線を遮蔽することを目的とする。【解決手段】 放電媒体を封入した管球を備え、前記管球内に集光させたレーザー光線によって前記管球内にプラズマを生成するレーザー駆動光源において、前記管球内には、前記管球内に生成したプラズマを透過したレーザー光線を遮蔽する光線遮蔽部材が設けられていることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

放電媒体を封入した管球を備え、前記管球内に集光させたレーザー光線によって前記管球内にプラズマを生成するレーザー駆動光源において、 前記管球内には、前記管球内に生成したプラズマを透過したレーザー光線を遮蔽する光線遮蔽部材が設けられていることを特徴とするレーザー駆動光源。

IPC (4件)：

H01J 65/00 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  F21S 2/00

FI (5件)：

H01J65/00 Z ,  H01L21/30 515A ,  G03F7/20 501 ,  F21S2/00 311 ,  F21S2/00 340

Fターム (9件)：

2H097CA01 ,  2H097CA12 ,  2H097LA11 ,  2H097LA12 ,  3K243AA02 ,  3K243AC06 ,  3K243BE01 ,  5F046CA01 ,  5F146CA01