特許

J-GLOBAL ID：201103062352760837

半導体インピーダンス装置

発明者： バーノン ジョージ マツケニイ ,  ツイウ チウ チヤン
出願人/特許権者： エスジーエス-トムソン マイクロエレクトロニクス,インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 小橋 一男 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-200909
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013577
特許番号：特許第2696110号
出願日： 1977年11月21日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
IPC (2件)：

H01L 21/8244 ,  H01L 27/11

FI (1件)：

H01L 27/10 381

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭50-011644
  
• 特開昭49-022871