特許

J-GLOBAL ID：201103062651260336

回路パタ-ン露光装置

発明者： ウールリッヒ・クリストプ・ベティガー ,  ベルンハルト・ハフナー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-004021
公開番号（公開出願番号）：特開平7-058004
特許番号：特許第2502939号
出願日： 1989年03月20日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】露光の際に、露光されるべきフォトレジスト層を有する基板を露光ビームに対して相対的に、X方向もしくはY方向または両方向に移動させる移動手段と、基本の露光位置に関して露光位置を微小距離だけずらしながら露光することによって所定の壁面形状を有する開口を前記フォトレジスト層に形成するため、前記微小距離の相対移動量、相対移動の方向および露光ビーム強度を含む制御デ-タを与えるプログラム制御型の制御手段と、露光の際に、前記制御デ-タに応答し、前記制御デ-タを制御信号に変換して前記移動手段を作動させる変換手段と、を有する露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (4件)：

H01L 21/30 576 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 515 G

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭63-049909