特許

J-GLOBAL ID：201103062744939746

受け渡し機構、ステージ装置、搬送装置、露光装置、及びデバイス製造方法

発明者： 牛島 康之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-252909
公開番号（公開出願番号）：特開2011-113086
出願日： 2010年11月11日
公開日（公表日）： 2011年06月09日
要約：

【課題】載置ずれや変形を生じさせることなく基板の受け渡しを行うこと。【解決手段】基板Pが載置される載置部9aが設けられた基板ホルダ9との間で基板Pの受け渡しを行う受け渡し機構50である。載置部9aに対して上下動する複数の上下動部材55と、少なくとも2つの上下動部材55に架設され、基板Pを支持する少なくとも1つの支持部材51と、を備えている。また、上下動部材55「は、支持部材51における基板Pとの接触部が載置部9aに対して突没するように上下動する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板が載置される載置部が設けられた基板ホルダとの間で前記基板の受け渡しを行う受け渡し機構であって、 前記載置部に対して上下動する複数の上下動部材と、 少なくとも2つの前記上下動部材に架設され、前記基板を支持する少なくとも1つの支持部材と、を備え、 前記上下動部材は、前記支持部材における前記基板との接触部が前記載置部に対して突没するように上下動する受け渡し機構。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ,  G02F 1/13 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F7/20 501 ,  G02F1/13 101 ,  H01L21/30 503C

Fターム (13件)：

2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H097BA10 ,  2H097DB11 ,  5F046CC01 ,  5F046CC08 ,  5F046CC13 ,  5F046CD01 ,  5F046CD04