特許

J-GLOBAL ID：201103062836096524

ナノ粒子焼結膜の成膜方法

発明者： ▲桑▼島 秀介 ,  和島 峰生
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (7件)： 平田 忠雄 ,  角田 賢二 ,  岩永 勇二 ,  中村 恵子 ,  遠藤 和光 ,  野見山 孝 ,  今 智司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-126872
公開番号（公開出願番号）：特開2011-252202
出願日： 2010年06月02日
公開日（公表日）： 2011年12月15日
要約：

【課題】膜の全体が緻密であり、かつ、基材への密着性が良好なナノ粒子焼結膜の成膜方法を提供する。【解決手段】本発明に係るナノ粒子焼結膜の成膜方法は、金属粒子を含むペーストを基材10表面に塗布し、塗布層20を形成する塗布工程と、基材10を加熱する加熱工程、及び塗布層20に局所的にエネルギーを加えるエネルギー照射工程とにより塗布層20から燒結膜25を形成する焼結膜形成工程とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

金属粒子を含むペーストを基材表面に塗布し、塗布層を形成する塗布工程と、 前記基材を加熱する加熱工程、及び前記塗布層に局所的にエネルギーを加えるエネルギー照射工程とにより前記塗布層から燒結膜を形成する焼結膜形成工程と を備えるナノ粒子焼結膜の成膜方法。

IPC (7件)：

B22F 7/04 ,  H05K 1/09 ,  H05K 3/10 ,  H05K 3/12 ,  H01B 13/00 ,  B22F 3/105 ,  B22F 1/00

FI (7件)：

B22F7/04 D ,  H05K1/09 A ,  H05K3/10 C ,  H05K3/12 610B ,  H01B13/00 503C ,  B22F3/105 ,  B22F1/00 K

Fターム (31件)：

4E351BB01 ,  4E351BB31 ,  4E351CC11 ,  4E351CC21 ,  4E351CC27 ,  4E351DD04 ,  4E351DD05 ,  4E351DD06 ,  4E351DD52 ,  4E351DD56 ,  4E351GG16 ,  4K018AA02 ,  4K018AA04 ,  4K018BA01 ,  4K018BA02 ,  4K018BB05 ,  4K018BD04 ,  4K018CA44 ,  4K018DA23 ,  4K018HA08 ,  4K018JA22 ,  5E343BB23 ,  5E343BB24 ,  5E343BB25 ,  5E343BB72 ,  5E343DD01 ,  5E343DD68 ,  5E343ER35 ,  5E343ER45 ,  5E343GG02 ,  5E343GG08