特許

J-GLOBAL ID：201103062866116228

表面形状認識用センサ

発明者： 町田 克之 ,  久良木 億 ,  森村 浩季 ,  重松 智志
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-070619
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266506
特許番号：特許第3371095号
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 半導体基板上に形成された層間絶縁膜の同一平面にそれぞれが絶縁分離され、かつそれぞれ固定配置されたセンサ電極を有する複数の容量検出素子と、この容量検出素子それぞれの容量を検出する容量検出手段と、前記層間絶縁膜上で前記センサ電極と絶縁分離されて配置された固定電極と、前記層間絶縁膜上にセンサ電極を覆うように形成されかつ絶縁性の部材から構成された絶縁層と、この絶縁層上に他とは絶縁分離されて形成された前記センサ電極より小さい面積の複数の対向電極とを備え、前記固定電極は前記容量検出素子表面にその一部が露出して形成され、前記センサ電極と前記対向電極との間に形成される容量が前記容量検出手段に検出されることを特徴とする表面形状認識用センサ。

IPC (3件)：

G01B 7/28 ,  A61B 5/117 ,  G06T 1/00

FI (3件)：

G01B 7/28 A ,  A61B 5/10 322 ,  G06F 15/64 G