特許

J-GLOBAL ID：201103063206158200

チタン-鉄-珪素表面コーティングを有する窒化硼素含有蒸着用ボート

発明者： グレゴリ・ウェイン・シャッファー
出願人/特許権者： ユニオン・カーバイド・コーポレーション
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-089882
公開番号（公開出願番号）：特開平1-316258
出願日： 1989年04月11日
公開日（公表日）： 1989年12月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】窒化硼素を含む蒸着用ボートにおいて、表面の少なくとも一部を45〜75重量%チタン、18〜35重量%鉄及び7〜20重量%珪素から成るチタン-鉄-珪素コーティング層で被覆したことを特徴とする蒸着用ボート。

IPC (5件)：

B32B 15/04 B ,  B32B 18/00 B 7148-4F ,  C04B 41/88 T ,  C23C 14/24 9271-4K ,  F27B 14/10 7516-4K

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特公昭52-010084