金属ナノ粒子を用いた接合方法及び接合体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：下田容一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-220890
公開番号（公開出願番号）：特開2011-071301
出願日： 2009年09月25日
公開日（公表日）： 2011年04月07日
要約：

【課題】金属ナノ粒子を用いた接合技術において、スペーサを接合層に残しつつ、接合強度を高めることができる接合技術を提供することを課題とする。【解決手段】接合体10は、第1の部材11と、第2の部材12と、これらの部材11、12とを接合する接合層13とからなり、この接合層13に塑性変形されたスペーサ14が残されている。【効果】スペーサを採用したため、接合層の膜厚を必要なだけ厚くすることができる。次に、スペーサを塑性変形させるため、金属ナノ粒子を主体とするペーストを、大きな加圧力で加圧することができ、緻密化を高めることができる。緻密化により、金属ナノ粒子同士の接合を促すことができ、焼結後の接合強度を高めることができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

有機物で被覆されている金属ナノ粒子を分散媒に分散させたペーストを用いて複数の部材を接合する接合方法において、第1の部材に、少なくとも1本のスペーサを載せる工程と、このスペーサに被せるようにして、前記第1の部材上に前記ペーストを塗布する工程と、このペーストに第2の部材を載せて積層体を得る工程と、前記分散媒が蒸発するが前記有機物は蒸発しない温度で、前記積層体を加熱する工程と、前記スペーサが塑性変形する大きさの加圧力で加圧しながら、前記有機物が蒸発し且つ前記金属ナノ粒子が焼結する温度で、更に加熱する工程と、からなることを特徴とする金属ナノ粒子を用いた接合方法。

IPC (1件)：

H01L 21/52

FI (2件)：

H01L21/52 D , H01L21/52 E

Fターム (8件)：

5F047AA13 , 5F047BA12 , 5F047BA14 , 5F047BA21 , 5F047BA52 , 5F047BB11 , 5F047BB16 , 5F047BB18

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