特許

J-GLOBAL ID：201103063433797197

ウェーハボート

発明者： 須藤 俊明 ,  野々垣 嘉久 ,  奥田 哲也
出願人/特許権者： 三菱住友シリコン株式会社 ,  株式会社テクニスコ
代理人 (1件)： 安倍 逸郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-285115
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110735
特許番号：特許第3406994号
出願日： 1999年10月06日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ウェーハを支持する複数本の支持ロッドと、これらの支持ロッドの両端部を、掛止構造を介してそれぞれ着脱自在に保持する一対の保持部材とを備えたウェーハボートであって、上記掛止構造は、上記保持部材に形成した係合面と、この係合面に係合する上記支持ロッドに形成した係合面とが、上記支持ロッドの軸線に対して傾斜した傾斜面であるくさび形掛止構造であり、上記各支持ロッドは、上記保持部材に設けた掛止部材により、上記保持部材の係合面に押しつけられて掛止されるウェーハボート。

IPC (3件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/31

FI (5件)：

H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/22 511 M ,  H01L 21/22 501 G ,  H01L 21/22 501 M ,  H01L 21/31 F