特許
J-GLOBAL ID：201103063465562558
検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 学
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-381643
公開番号（公開出願番号）：特開2002-181869
特許番号：特許第3835162号
出願日： 2000年12月11日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】被検査物に形成された配線のショート及びオープンの有無を該被検査物の良品と比較して検査する検査方法であって、
前記配線の形成された前記被検査物に電磁波を照射する第1ステップと、
前記被検査物により反射された前記電磁波の反射波の周波数特性を測定する第2ステップと、
前記被検査物にて測定された前記反射波の周波数特性を予め得られた前記被検査物の良品における反射波の周波数特性と比較する第3ステップと、
その比較結果を出力する第4ステップとを有し、
前記第1ステップにおける前記被検査物への前記電磁波の照射と前記第2ステップにおける該被検査物から反射された前記反射波の検出を微小ループアンテナ、微小モノポールアンテナ、微小ダイポールアンテナ、これらのアンテナを組み合わせたアンテナ、またはこれらのアンテナのアレーアンテナを用いて行い、
前記被検査物の良品における前記反射波の周波数特性を、該被検査物の良品に前記電磁波を照射し且つ該被検査物の良品により反射された該電磁波の反射波の周波数特性として得ることを特徴とする検査方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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