特許
J-GLOBAL ID:201103063543914300
固体撮像装置およびその製造方法、電子機器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐藤 隆久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-021219
公開番号(公開出願番号):特開2011-159858
出願日: 2010年02月02日
公開日(公表日): 2011年08月18日
要約:
【課題】「積層型」の固体撮像装置において、撮像画像の画像品質を向上する。【解決手段】緑色用光電変換部201Gの透過窓TMを、青色の波長領域の光が透過窓TM以外の部分よりも多く青色用光電変換部201Bへ透過するように形成する。この透過窓TMは、基板101の撮像面(xy面)の方向で規定される幅Dが、λc/n≦2D(式(1))を満たすように形成されている。このため、緑色用光電変換部201Gにおいては、「導波管の原理」によって、青色の光が多く透過することになる。【選択図】図3
請求項(抜粋):
入射光において第1の波長領域の光を選択的に受光して光電変換する第1光電変換部と、
前記入射光において前記第1の波長領域よりも短い第2の波長領域を選択的に受光して光電変換する第2光電変換部と
を少なくとも具備し、前記第2光電変換部が前記第1光電変換部を透過した光を受光するように、基板の撮像面において前記第1光電変換部が前記第2光電変換部の上方に積層されており、
前記第1光電変換部は、前記第2の波長領域の光が他の部分よりも前記第2光電変換部へ透過する透過部が形成されており、
前記透過部は、前記基板の撮像面の方向で規定される幅Dが、当該透過部の周辺の屈折率n、および、前記第2光電変換部に選択的に光電変換させる前記第2の波長領域の最長波長λcとの間において、下記の式(1)を満たす部分を含むように形成されている、
固体撮像装置。
λc/n≦2D ・・・(1)
IPC (3件):
H01L 27/146
, H04N 5/335
, H04N 9/07
FI (4件):
H01L27/14 E
, H01L27/14 A
, H04N5/335 U
, H04N9/07 A
Fターム (19件):
4M118BA07
, 4M118BA14
, 4M118CA02
, 4M118CA14
, 4M118CA22
, 4M118CA27
, 4M118CA32
, 4M118CB05
, 4M118CB14
, 4M118GA09
, 4M118GD04
, 5C024AX01
, 5C024CX41
, 5C024DX01
, 5C024GX03
, 5C065BB13
, 5C065CC01
, 5C065DD01
, 5C065EE03
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