特許

J-GLOBAL ID：201103063626920158

ウォーキングドライブにおける位置制御法

発明者： 社本 英二
出願人/特許権者： 財団法人新産業創造研究機構
代理人 (8件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行 ,  荒川 伸夫 ,  川瀬 茂樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-150604
公開番号（公開出願番号）：特開2002-341941
特許番号：特許第4385142号
出願日： 2001年05月21日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】接触ブロックと接触ブロックをx方向に変位する送り用素子Xとy方向に変位する送り用素子Yとz方向に変位する支持用素子Sよりなる駆動部Dを複数個設け、接触ブロックによってテーブルを支持し、2群あるいはそれ以上の数の群に分けた駆動部の交互の運動によって、テーブルを直接接触しながら支持して搬送することとしたウォーキングドライブにおいて、駆動部の接触ブロックが接触するテーブルの下面に、駆動部の送り用素子のストローク以下のピッチの規則正しい配列の飛び石を加工し、2個以上の駆動部がそれらの飛び石の上に接触しながらテーブルを駆動することによって、テーブルの位置を制御する事を特徴とするウォーキングドライブにおける位置制御法。

IPC (5件)：

G05D 3/00 ( 200 6.01) ,  B23P 19/00 ( 200 6.01) ,  B23Q 5/28 ( 200 6.01) ,  H01L 21/68 ( 200 6.01) ,  G01B 21/00 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G05D 3/00 G ,  B23P 19/00 302 P ,  B23Q 5/28 C ,  H01L 21/68 K ,  G01B 21/00 A