特許
J-GLOBAL ID:201103063647494418

密閉型容器の洗浄方法及び洗浄装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤井 紘一 (外1名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-325836
公開番号(公開出願番号):特開2002-126678
特許番号:特許第3494293号
出願日: 2000年10月25日
公開日(公表日): 2002年05月08日
請求項(抜粋):
【請求項1】 超音波洗浄槽内に洗浄液を供給するとともに蓋を外した密閉型容器をその開口部を下に向けて前記洗浄液中に浸漬すると、前記容器の内部に残留するエアが前記洗浄液の液圧により、容器内部の底近傍にその先端部が届くように配置されたエア抜きパイプから自動的に排出され、この状態で超音波洗浄を行う工程と、洗浄液を排出し或いはそのままで容器の内外部を高圧シャワーにて洗浄する工程とを有する洗浄工程と、前記洗浄工程を終了した密閉型容器を乾燥槽に搬送して熱風を送り込み熱風加熱する工程と、乾燥槽内を減圧して減圧乾燥する工程とを有する乾燥工程とを備えた密閉型容器の洗浄方法。
IPC (5件):
B08B 9/28 ,  B08B 3/02 ,  B08B 3/12 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/68
FI (5件):
B08B 9/28 ,  B08B 3/02 A ,  B08B 3/12 A ,  H01L 21/304 648 E ,  H01L 21/68 T
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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