特許
J-GLOBAL ID：201103063702649949
積層膜を有する光フィルタ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野▲崎▼ 照夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-059790
公開番号（公開出願番号）：特開2002-258038
特許番号：特許第3917822号
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板に、屈折率が異なる膜が複数層積層されている光フィルタにおいて、
前記膜は、クラスタ状の微結晶集合構造と、前記微結晶集合構造に生じた空隙を埋めるように配置された非晶質構造とを有し、単一膜内で屈折率が均一であることを特徴とする光フィルタ。
IPC (2件)：
G02B 5/28 ( 200 6.01)
, C23C 14/34 ( 200 6.01)
