特許

J-GLOBAL ID：201103063880463271

微細接合装置

発明者： 小浜 京一 ,  末吉 俊信 ,  平井 雄介 ,  中川 和成
出願人/特許権者： 日立マクセル株式会社
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-017406
公開番号（公開出願番号）：特開平11-333561
特許番号：特許第3857451号
出願日： 1999年01月26日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 微小なギャップを隔てて配置された2つの電極を有する加熱ヘッドと、当該加熱ヘッドを所定の接合位置又は非接合位置に移動するヘッド駆動部と、前記加熱ヘッドを前記所定の接合位置まで移動したときに前記2つの電極及び被接合物と接触するリボン状抵抗発熱体と、前記電極に電力を供給する電源部とを備え、 前記リボン状抵抗発熱体を前記電極を介してその両側に取り付けられたリボン巻回リール及びリボン巻取リールに巻回し、前記リボン巻回リールより引き出され前記リボン巻取リールに巻き取られた前記リボン状抵抗発熱体の一部を前記各電極の先端部に接触させ、前記リボン巻回リール又は前記リボン巻取リールを駆動することによって前記リボン状抵抗発熱体を長さ方向に駆動できるようにしたことを特徴とする微細接合装置。

IPC (2件)：

B23K 3/053 ( 200 6.01) ,  G06K 19/07 ( 200 6.01)

FI (2件)：

B23K 3/053 ,  G06K 19/00 H

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-028549