特許
J-GLOBAL ID：201103063954434406
フリンジスキャンを用いた干渉計装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-021454
公開番号（公開出願番号）：特開2000-221004
特許番号：特許第3998844号
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】可干渉光を、基準レンズを介して被検体の球面状の被検面に入射せしめ、該可干渉光の、該被検面における反射により生じた物体光と前記基準レンズの球面状の基準面における反射により生じた参照光との光干渉により生じる干渉縞を、所定の干渉縞形成面上に形成するとともに、
前記基準レンズを前記可干渉光の光軸方向に移動させて前記基準面と前記被検面との相対距離を変化させることにより得られる複数の干渉縞画像に基づき、前記干渉縞の位相計算を行うフリンジスキャン測定手段を有する干渉計装置において、
前記フリンジスキャン測定手段における位相計算のフリンジスキャン開始時位相は、前記基準面の曲率中心を基準にして光軸と観察点がなす角度をθとした際に、前記基準面レンズの基準面を所定量Δずつ移動させカレ法により求めた位相から(3Δ/2)cosθを減算して求めることを特徴とするフリンジスキャンを用いた干渉計装置。
IPC (2件)：
G01B 9/02 ( 200 6.01)
, G01B 11/24 ( 200 6.01)
