ワイヤボンディング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：岩橋文雄 , 坂口智康 , 内藤浩樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-025031
公開番号（公開出願番号）：特開2001-217276
特許番号：特許第3575372号
出願日： 2000年02月02日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ワイヤをボンディング対象面にボンディングするワイヤボンディング装置であって、ワイヤが挿通するキャピラリツールを保持するホーンと、このホーンが結合された基部と、この基部を両側から水平方向の揺動軸廻りに揺動自在に支持する軸支持部と、前記ホーンを前記揺動軸廻りに揺動させる揺動駆動部とを備え、前記軸支持部は前記揺動軸を中心に放射状に配置された複数枚の板バネ部材を有し、前記板バネ部材の中間部に外側から内側に向かって切り欠き部が設けられていることを特徴とするワイヤボンディング装置。

IPC (1件)：