特許

J-GLOBAL ID：201103063990681100

基板収納容器及び基板の取り扱い方法

発明者： 小田嶋 智
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (4件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂 ,  馬場 信幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-208979
公開番号（公開出願番号）：特開2011-060994
出願日： 2009年09月10日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：

【課題】フロントリテーナの基板に対する押圧力を増大させる必要がなく、蓋体取り外しの際、基板が飛び出すおそれを排除できる基板収納容器及び基板の取り扱い方法を提供する。【解決手段】半導体ウェーハ1を水平に収納する容器本体と、容器本体を開閉する蓋体を備え、容器本体に、半導体ウェーハ1の後部周縁2をV溝18の谷20に接触させて保持するリヤリテーナ17を内蔵し、V溝18を一対の傾斜面により区画してその間の角度を45〜135°の範囲とし、蓋体に、半導体ウェーハ1を掬い上げてその前部周縁3を保持するフロントリテーナ33を装着する。容器本体内にロボットハンドを進入させて半導体ウェーハ1の下方に位置させ、ロボットハンドを容器本体の正面方向に向け斜め上方に移動させつつ半導体ウェーハ1を容器本体の支持片12から持ち上げ、ロボットハンド上に半導体ウェーハ1を吸着して後退させる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板を対向する複数の支持片により略水平に支持して収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを備えた基板収納容器であって、 容器本体の内部に、収納される基板の後部周縁をV溝の谷により保持するリヤリテーナを設け、蓋体には、容器本体に収納された基板の前部周縁を断面略V字形の保持溝の谷により保持する弾性のフロントリテーナを設け、 リヤリテーナのV溝を上下一対の傾斜面により区画してその間の角度を45〜135°の範囲とし、このV溝の谷を基板の端部の延長線上に位置させ、フロントリテーナの保持溝の谷を、複数の支持片により略水平に支持された基板よりも上方に位置させたことを特徴とする基板収納容器。

IPC (3件)：

H01L 21/673 ,  H01L 21/677 ,  B65D 85/86

FI (3件)：

H01L21/68 T ,  H01L21/68 A ,  B65D85/38 R

Fターム (34件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BA17 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096DA23 ,  3E096DA25 ,  3E096DB01 ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA03 ,  5F031EA06 ,  5F031EA10 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA18 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA08 ,  5F031GA10 ,  5F031GA15 ,  5F031NA02 ,  5F031PA13 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20 ,  5F031PA26