特許

J-GLOBAL ID：201103064134551250

有機けい素薄膜の製造方法

発明者： 坂田 勘治 ,  国武 豊喜
出願人/特許権者： 新技術事業団 ,  坂田 勘治
代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-131478
公開番号（公開出願番号）：特開平2-311579
出願日： 1989年05月26日
公開日（公表日）： 1990年12月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】スルホン酸塩,硫酸塩,アンモニウム塩,ポリアミン塩,カルボン酸塩,スルホニル塩,リン酸塩,ホスホン酸塩,ホスホニウム塩,ポリエーテル酸,アルコール類,糖残基類を含むポリオール類及びこれらの組合せから選ばれた極性基と炭素数8〜22のアルキル基,アルキルアリル基,脂環基,縮合多環基及びこれらの組合せから選ばれた疎水基が分子の両端に付加された両親媒性物質と、Si原子に結合した少なくとも3個以上のアルコキシ基を1分子中にもつアルコキシシラン物質とを含有する展開液を調製し、該展開液を基板表面に展開した後、前記基板上の液膜から溶媒を除去することを特徴とする有機けい素薄膜の製造方法。

IPC (8件)：

C09D 183/04 PMT ,  B01D 67/00 9153-4D ,  B01D 69/12 ,  B01D 71/70 9153-4D ,  C08J 9/36 CFH 7310-4F ,  C09D 183/02 PMP ,  C09D 183/14 ,  C08L 83:04