特許

J-GLOBAL ID：201103064596685163

光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置

発明者： 藤井 光美
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-056262
公開番号（公開出願番号）：特開2011-191422
出願日： 2010年03月12日
公開日（公表日）： 2011年09月29日
要約：

【課題】偏向ミラーの共振周波数を切り替え可能とし、かつ小形化も図ることができる光偏向器を提供する。【解決手段】各第1のねじり梁部材3a,3bを往復振動させることで、光源からの光ビームを偏向する偏向ミラー4を有するミラー基板2と、ミラー基板2を保持する外枠部材5と、両外側がフレーム部材7に固定保持されるとともに両内側が外枠部材5の両側に接合された各第2のねじり梁部材6a,6bを備え、外力発生手段8からの可振による偏向ミラー4の往復振動時に、外枠部材5の慣性と第2のねじり梁部材6a,6bのねじり剛性で概ね定まる第1の共振周波数が、偏向ミラー4の慣性と第1のねじり梁部材3a,3bのねじり剛性で概ね定まる第2の共振周波数の略1/2となるように、偏向ミラー4と第1、第2の各ねじり梁部材3a,3b、6a,6bの各形状寸法を設定した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

両側に接合された一対の第1のねじり梁部材をねじり回転軸として往復振動させることで、光源からの光ビームを偏向する偏向ミラーを有するミラー基板と、前記ミラー基板を保持する外枠部材と、前記第1のねじり梁部材と同一直線上に設けられ、両外側が固定保持されるとともに両内側が前記外枠部材の両側に接合された一対の第2のねじり梁部材と、前記外枠部材又は前記一対の第2のねじり梁部材を可振するための外力発生手段とを備え、 前記外力発生手段から前記外枠部材又は前記一対の第2のねじり梁部材に可振力を付与することで、前記一対の第2のねじり梁部材及び前記第1のねじり梁部材をねじり回転軸として前記偏向ミラーを往復振動させる光偏向器であって、 前記偏向ミラーの往復振動時に、前記外枠部材の慣性と前記一対の第2のねじり梁部材のねじり剛性で概ね定まる第1の共振周波数が、前記偏向ミラーの慣性と前記第1のねじり梁部材のねじり剛性で概ね定まる第2の共振周波数の略1/2となるように、前記偏向ミラーと前記第1、第2の各ねじり梁部材の各形状寸法を設定したことを特徴とする光偏向器。

IPC (2件)：

G02B 26/10 ,  H04N 1/113

FI (2件)：

G02B26/10 104Z ,  H04N1/04 104Z

Fターム (19件)：

2H045AB06 ,  2H045AB13 ,  2H045AB16 ,  2H045AB38 ,  2H045AB72 ,  2H045AB81 ,  2H045BA13 ,  2H045BA24 ,  2H045BA32 ,  5C072AA03 ,  5C072BA01 ,  5C072BA02 ,  5C072DA02 ,  5C072DA04 ,  5C072DA23 ,  5C072HA02 ,  5C072HA14 ,  5C072HB16 ,  5C072QA14