特許

J-GLOBAL ID：201103064600844409

研磨装置の研磨ヘッドの構造

発明者： 沼本 実
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (5件)： 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  篠崎 正海 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-024082
公開番号（公開出願番号）：特開2001-212754
特許番号：特許第3683149号
出願日： 2000年02月01日
公開日（公表日）： 2001年08月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 研磨ヘッドで被加工物を研磨定盤上の研磨布に押し付けながら相対運動させる研磨装置の研磨ヘッドにおいて、 前記研磨ヘッドが、 回転すると共に前記研磨定盤に対向配置されるヘッド本体と、 前記ヘッド本体に上下方向移動自在に遊嵌支持されたキャリアと、 前記ヘッド本体に前記キャリアとは独立して上下方向移動自在に遊嵌支持され、研磨時に被加工物の周囲を包囲して前記研磨布に接触するリテーナリングと、 前記リテーナリングの内部を覆うように前記リテーナリングで周縁を保持された弾性シートと、を備えていて、 前記リテーナリングの内部であって前記キャリアの下面と前記弾性シートの隙間に形成されるエア室内のエアが所望の研磨圧力で研磨している際のエア圧よりも上昇したときに、該エアの一部を排出できるように、前記キャリアの径方向に突出した外周縁部を、前記リテーナリング上に載置することによってエアのシール部を形成すると共に、前記キャリアの下面に設けられたエア吹出口からのエアによって、前記弾性シートが膨れて研磨時に被加工物を前記研磨布に押圧することを特徴とする研磨装置の研磨ヘッドの構造。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B 37/04 H ,  B24B 37/00 B ,  H01L 21/304 622 K