ウエハ加熱装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-184458
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015399
特許番号：特許第3865973号
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】板厚が2mm〜7mmである炭化珪素質焼結体又は炭化硼素質焼結体から成る均熱板の一方の主面をウエハを載せる載置面とするとともに、他方の主面に絶縁層を介して発熱抵抗体及び該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を具備して成り、前記絶縁層は、0°C〜200°Cの温度範囲における熱膨張係数が32〜44×10-7/°Cであるガラスから成り、その厚みが100μm〜350μmであることを特徴とするウエハ加熱装置。

IPC (1件)：