特許
J-GLOBAL ID：201103064775741246

蛍光X線分析装置及びそれに使用するX線検出器

発明者：
清水 一明

清水 一明 について

, 
藤森 淳二

藤森 淳二 について

, 
庄司 孝

庄司 孝 について


出願人/特許権者：
株式会社リガク

株式会社リガク について


代理人 (4件)： ポレール特許業務法人 ,  小川 勝男 ,  佐々木 孝 ,  田中 恭助
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-113228
公開番号（公開出願番号）：特開2001-289955
特許番号：特許第4372960号
出願日： 2000年04月10日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料室内に載置した試料にX線管からのX線を照射し、前記試料から発生する蛍光X線を分光手段により分光し、当該分光した蛍光X線の強度をX線検出器により測定して前記試料を分析する蛍光X線分析装置であって、 前記X線検出器の一部に設けられ、前記分光した蛍光X線を当該X線検出器内に導く入射窓部に備えた窓部材を、高分子フィルムの薄膜の片側面又は両側面に、軟X線領域において検出する蛍光X線の短波長側近傍に吸収端を有する物質からなる複数層のコーティング膜をコーティングして形成したものであって、前記コーティング膜を、厚さ約100〜300nmとし、かつ、前記高分子フィルムの薄膜を、厚さ1μm以下のポリイミドフィルムとしたことを特徴とする蛍光X線分析装置。
IPC (3件)：
G01T 7/00 ( 200 6.01) ,  G01N 23/223 ( 200 6.01) ,  G01T 1/18 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G01T 7/00 A ,  G01N 23/223 ,  G01T 1/18 A
引用特許：
審査官引用 (27件)
  • X線入射窓
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-019458   出願人：理学電機工業株式会社
  • X線検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-142674   出願人：理学電機工業株式会社
  • 特開昭57-082954
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