特許
J-GLOBAL ID：201103064811265464
X/Yステージ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-332832
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153983
特許番号：特許第3491680号
出願日： 1999年11月24日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】X軸方向及びY軸方向に沿って一定ピッチの歯が形成されている格子プラテンと、該格子プラテン上をX軸方向及びY軸方向に動くことができるスライダ部と、該スライダ部を所定位置に復帰する原点復帰手段とからなるX/Yステージにおいて、前記原点復帰手段は、X軸端部又はY軸端部の所定位置に所定間隔を持って縦横に配列した4個の検出素子を備えると共に、前記スライダ部に複数の原点位置決めスリットを備え、該複数の原点位置決めスリットにより前記4個の検出素子を適宜組み合わせた信号に基づいて原点復帰位置を決定することを特徴とするX/Yステージ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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