熱処理装置の温度制御方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：赤澤日出夫 , ▲橋▼場満枝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-190876
公開番号（公開出願番号）：特開2011-044536
出願日： 2009年08月20日
公開日（公表日）： 2011年03月03日
要約：

【課題】高精度で且つ制御性能が高い温度制御を行うことができる熱処理装置の温度制御方法を提供する。【解決手段】第1のPID演算要素と第2のPID演算要素とでカスケード制御を行う温度コントローラを有する熱処理装置の温度制御方法において、第1のPID演算要素の第1の操作量の上下限判定範囲を、炉内温度が目標値に一致しているときの該第1の操作量の値を基準に正負両側に略同じ値である範囲とし、かつ第1のPID演算要素で計算された第1の操作量がその上限値を超えたと判定されたときは該第1の操作量が前記上下限判定範囲の上限値になる分だけ前記第1のPID演算要素の積分操作量を増加させ、その下限値を下回ったと判定されたときは該第1の操作量が前記上下限判定範囲の下限値になる分だけ積分操作量を減少させる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

第1のPID演算要素と第2のPID演算要素とでカスケード制御を行う温度コントローラを有する熱処理装置の温度制御方法において、第1のPID演算要素の第1の操作量の上下限判定範囲を、炉内温度が目標値に一致しているときの該第1の操作量の値を基準に正負両側に略同じ値である範囲とし、かつ第1のPID演算要素で計算された第1の操作量がその上限値を超えたと判定されたときは該第1の操作量が前記上下限判定範囲の上限値になる分だけ前記第1のPID演算要素の積分操作量を増加させ、その下限値を下回ったと判定されたときは該第1の操作量が前記上下限判定範囲の下限値になる分だけ積分操作量を減少させることを特徴とする熱処理装置の温度制御方法。

IPC (8件)：

H01L 21/22 , H01L 21/324 , H01L 21/31 , H01L 21/205 , C23C 16/46 , H05B 3/00 , G05D 23/19 , G05B 11/32

FI (9件)：

H01L21/22 511A , H01L21/324 T , H01L21/31 E , H01L21/31 B , H01L21/205 , C23C16/46 , H05B3/00 310C , G05D23/19 J , G05B11/32 C

Fターム (49件)：

3K058AA04 , 3K058AA73 , 3K058BA14 , 3K058CB01 , 3K058CB13 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030FA10 , 4K030GA07 , 4K030KA23 , 4K030KA41 , 4K030LA15 , 5F045AA03 , 5F045AA20 , 5F045BB08 , 5F045DP19 , 5F045DQ05 , 5F045EF03 , 5F045EK06 , 5F045GB05 , 5F045GB15 , 5H004GA03 , 5H004GA05 , 5H004GB15 , 5H004HA01 , 5H004HB01 , 5H004JA04 , 5H004KA22 , 5H004KB02 , 5H004KB04 , 5H004KB06 , 5H004KB39 , 5H004LA18 , 5H323AA05 , 5H323BB02 , 5H323CA10 , 5H323CB02 , 5H323DA01 , 5H323EE05 , 5H323FF06 , 5H323FF10 , 5H323GG01 , 5H323KK07 , 5H323LL01 , 5H323LL02 , 5H323LL11 , 5H323MM09 , 5H323MM11 , 5H323MM14

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