特許
J-GLOBAL ID：201103064857218088
同時特性を取得するための材料測定システムおよび関連方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
小野 新次郎
, 社本 一夫
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 西山 文俊
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-533402
公開番号（公開出願番号）：特表2011-503583
出願日： 2008年11月14日
公開日（公表日）： 2011年01月27日
要約：
材料測定システム(500)は、光パルスを放射する少なくとも1つのレーザ光源(111)を含むTHz発生器を含み、光パルスは、製造システム(100)による処理の間、材料(14)上のサンプル位置でパルスTHz放射を放射するように動作可能なTHzエミッタ(51)に結合される。受信機(52)は、光パルスを受信し、光パルスと同期して、材料(14)上のサンプル位置から反射または透過されたTHz放射を検出し、電気検出信号を供給するように動作可能である。同期光学素子(112、113、114)は、前記レーザから光パルスを受信し、受信機(52)とTHzエミッタ(51)の両方に光パルスを供給するように動作可能である。コントローラ(25)は、電気検出信号を受信し、処理された電気検出信号を供給するための少なくとも1つのプロセッサ(87)と、処理された電気検出信号から前記材料の少なくとも1つ、一般には複数の特性を決定するように動作可能なアナライザ(88)とを含む。
請求項（抜粋）：
光パルスを放射するための少なくとも1つのレーザ光源(111)を含み、前記光パルスは、製造システム(100)によって処理される間、前記材料(14)の上のサンプル位置でパルスTHz放射を放射するように動作可能なTHzエミッタ(51)に結合される、THz発生器と、
前記光パルスを受信し、前記光パルスと同期して、前記サンプル位置から反射されたまたは透過されたTHz放射を検出して、電気検出信号を供給するように動作可能な受信機(52)と、
前記レーザ(111)から前記光パルスを受信し、前記受信機(52)と前記THzエミッタ(51)の両方に前記光パルスを供給するように動作可能な同期光学素子(112、113および114)と、
前記電気検出信号を受信し、処理された電気検出信号を供給するための少なくとも1つのプロセッサ(87)および前記処理された電気検出信号から前記材料(14)の少なくとも1つの特性を決定するように動作可能なアナライザ(88)を備えるコントローラ(25)と、
を備える材料測定システム(500)。
IPC (3件)：
G01N 21/35
, D21F 7/00
, D21F 9/02
G01N21/35 B
, D21F7/00 Z
, D21F9/02
2G059AA01
, 2G059AA05
, 2G059BB10
, 2G059BB15
, 2G059CC09
, 2G059DD12
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE12
, 2G059FF04
, 2G059GG01
, 2G059GG08
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059JJ17
, 2G059JJ22
, 2G059JJ24
, 2G059KK10
, 4L055CE71
, 4L055CH02
, 4L055CH04
, 4L055CH16
, 4L055DA13
, 4L055DA14
, 4L055DA16
, 4L055DA17
, 4L055DA18
, 4L055DA25
, 4L055FA08
, 4L055FA22
, 4L055FA23
