特許
J-GLOBAL ID：201103064884156507
フォトレジストフィルムのラミネート方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
板野 嘉男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-113479
公開番号（公開出願番号）：特開2002-307555
特許番号：特許第3807595号
出願日： 2001年04月12日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】被加工物の表面にフォトレジストフィルムをラミネートする方法において、被加工物の厚みと等しいかやや薄い厚みを有する補助板に孔をあけて被加工物をこの孔に収容するとともに、補助板の下面に被加工物の脱落を防ぐ受板を添着してこの状態の補助板をラミネータに通し、被加工物及び補助板の上面にフォトレジストフィルムをラミネートすることを特徴とするフォトレジストフィルムのラミネート方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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