特許
J-GLOBAL ID：201103064915609912
マイクロ電気機械式光学装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (12件)：
岡部 正夫
, 加藤 伸晃
, 産形 和央
, 臼井 伸一
, 藤野 育男
, 越智 隆夫
, 本宮 照久
, 高梨 憲通
, 朝日 伸光
, 高橋 誠一郎
, 吉澤 弘司
, 三俣 弘文
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-309805
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221962
特許番号：特許第4388221号
出願日： 2000年10月10日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 A)表面領域を有する基板と、
B)光学要素により受光された光学信号を偏向する、外縁を有する前記光学要素と、
C)前記基板面上に支持され、前記光学要素の前記外縁へ機械的に接続され、前記光学要素を前記基板面上方に持ち上げるように動作可能なマイクロ電気機械式構造体からなるマイクロ電気機械式光学装置であって、
前記マイクロ電気機械式構造体が、
第一プレートと、第一ビーム対とを有し、
前記第一ビーム対の各ビームの第一端が、前記第一プレートに接続され、
前記第一ビーム対の各ビームの第二端が、前記基板面に接続され、および
前記第一プレートが前記光学要素の前記外縁に接続され、
前記第一ビーム対の各ビームが起動されることにより、前記第一プレートが前記光学要素を前記基板面から持ち上げる位置に移動するようになっており、
前記第一ビーム対が、前記光学要素の前記外縁に接近して位置するように前記基板上に配置され、これにより前記マイクロ電気機械式光学装置の全占有面積を減少させるようにした
ことを特徴とするマイクロ電気機械式光学装置。
IPC (2件)：
G02B 26/08 ( 200 6.01)
, B81B 7/02 ( 200 6.01)
