特許

J-GLOBAL ID：201103065042408601

光学部品の研磨方法

発明者： 村原 正隆
出願人/特許権者： 株式会社エム光・エネルギー開発研究所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-014687
公開番号（公開出願番号）：特開2002-219635
特許番号：特許第4399550号
出願日： 2001年01月23日
公開日（公表日）： 2002年08月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 光学部品の被研磨面とフッ素樹脂との間に水を介挿させた状態で、該光学部品の被研磨面と水とフッ素樹脂に紫外光を光学部品側から入射させる場合は除き、紫外光を入射しながら、あるいは光学部品の被研磨面が予め荒ずり研磨された場合に限り、紫外光を光学部品側からも入射させ、光学部品とフッ素樹脂を相対的に摺動させて該光学部品の被研磨面を研磨することを特徴とする光学部品の研磨方法。

IPC (3件)：

B24B 1/00 ( 200 6.01) ,  B24B 13/00 ( 200 6.01) ,  G02B 3/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

B24B 1/00 Z ,  B24B 13/00 Z ,  G02B 3/00 Z