特許
J-GLOBAL ID：201103065257040974
走査型プローブ顕微鏡用高周波磁場発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-028576
公開番号（公開出願番号）：特開2011-163999
出願日： 2010年02月12日
公開日（公表日）： 2011年08月25日
要約：
【課題】簡単な構成で、効率的に稼動する走査型プローブ顕微鏡用高周波磁場発生装置を提供する。【解決手段】高周波コイルは試料が載るステージ側に固定されるとともに、高周波コイルに高周波電力を供給するための結合コイルは、カンチレバーを保持するホルダー側に固定されて、カンチレバーがホルダーとともに前記試料表面に近づけられた際には、該結合コイルもまた、同時に前記高周波コイルに近づいて、両コイル間が電磁気的に結合するよう構成する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ステージ上の試料に対して高周波コイルより高周波磁場を照射した状態で、カンチレバーに装着された磁性探針を試料表面に近づけて、該試料表面に対して走査させながら磁性探針が試料表面から受ける力をカンチレバーの変位により測定する走査型プローブ顕微鏡のための高周波磁場発生装置であって、
該高周波磁場発生装置は高周波磁場を発生する少なくとも1つの高周波コイルと該高周波コイルに高周波電力を供給するための結合コイルを備え、
該高周波コイルは試料が載る前記ステージ側に固定されるとともに、
前記結合コイルは、前記カンチレバーを保持するホルダー側に固定されて、
前記カンチレバーが該ホルダーとともに前記試料表面に近づけられた際には、該結合コイルもまた、同時に前記高周波コイルに近づいて、両コイル間が電磁気的に結合するように構成されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用高周波磁場発生装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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