特許

J-GLOBAL ID：201103065353856888

ガス除去システム及び方法、並びにスクラバーアセンブリ及びその稼動方法

発明者： ソロモン、グレン エス. ,  ミラー、デイビッド ジェイ. ,  上田 哲三
出願人/特許権者： シービーエル テクノロジーズ インコーポレイテッド ,  パナソニック株式会社
代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-612035
特許番号：特許第4557434号
出願日： 2000年04月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 少なくとも1つのスクラバーユニットを備えるスクラバーアセンブリと、前記スクラバーユニットはスクラバー槽と、スクラバー注入口と、スクラバー排出口とを有することと、前記スクラバー槽内に収容されたスクラバー混合物と、前記スクラバー混合物は水と有機酸とからなることと、前記スクラバー槽に直列に連結された指示薬タンクとからなり、 前記有機酸は、少なくとも1つのスクラバーユニットの周囲作動温度において固体であるガス除去システム。

IPC (8件)：

B01D 53/58 ( 200 6.01) ,  B01D 53/14 ( 200 6.01) ,  B01D 53/34 ( 200 6.01) ,  B01D 53/68 ( 200 6.01) ,  B01D 53/77 ( 200 6.01) ,  C23C 16/44 ( 200 6.01) ,  G01N 31/22 ( 200 6.01) ,  H01L 21/205 ( 200 6.01)

FI (7件)：

B01D 53/34 131 ,  B01D 53/14 102 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/34 134 B ,  C23C 16/44 J ,  G01N 31/22 123 ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 捕集方法及び捕集装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-253906   出願人：株式会社東芝
• 特表昭62-502388