特許
J-GLOBAL ID：201103065500645294
圧電体薄膜素子及びこれを用いたインクジェット式記録ヘッド並びにこれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
前田 弘
, 小山 廣毅
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098895
公開番号（公開出願番号）：特開2000-289202
特許番号：特許第3868143号
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】圧電体薄膜と、該圧電体薄膜の厚み方向両面にそれぞれ形成された第1及び第2の電極膜と、上記圧電体薄膜の側面全周に密着するように形成され、該圧電体薄膜を保持する保持膜とを備え、成膜基板上に上記全ての膜を、上記第1の電極膜が該成膜基板に接するように形成した後に成膜基板の少なくとも圧電体薄膜に対応する部分をエッチング除去してなる圧電体薄膜素子であって、
上記第1の電極膜は、該電極膜の周縁部全周が上記圧電体薄膜の側面よりも側方に突出しかつ上記保持膜と密着するように形成されていることを特徴とする圧電体薄膜素子。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ( 200 6.01)
, B41J 2/055 ( 200 6.01)
, B41J 2/16 ( 200 6.01)
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
