特許
J-GLOBAL ID：201103065520606848
単結晶引上げ装置および引上げ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
波多野 久
, 関口 俊三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-377337
公開番号（公開出願番号）：特開2002-080293
特許番号：特許第4209082号
出願日： 2000年12月12日
公開日（公表日）： 2002年03月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 チャンバ内に設けられた石英ガラスルツボと、この石英ガラスルツボに装填されたポリシリコンを加熱して溶融するヒータとを有し、種結晶を前記ポリシリコンが溶融された融液に浸漬し単結晶を引上げる単結晶引上げ装置において、波長550nm以下のレーザ光を発振し、前記融液表面にスポットを形成するレーザ発振装置と、前記スポットを撮像する撮像装置と、この撮像装置からの融液表面位置画像信号を2値化する2値化回路と、この2値化回路から出力された信号を処理する画像処理装置と、この画像処理装置から出力された信号を入力する制御装置と、この制御装置によりルツボ軸を昇降させて融液表面の高さを制御するルツボ軸昇降装置とを有することを特徴とする単結晶引上げ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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