特許
J-GLOBAL ID：201103065576325914
ウェファ保護容器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩原 誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-010555
公開番号（公開出願番号）：特開2001-203260
特許番号：特許第3578955号
出願日： 2000年01月19日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】集積回路ウェファを収納するウェファ保護容器であって、前記集積回路ウェファを入れる容器ボディと、前記容器内で前記集積回路ウェファを所定の位置に保つロック装置と、前記容器ボディを覆う容器カバーと、前記容器カバーを前記容器ボディに固定する複数の固定具からなり、前記容器ボディは中空円筒、円板、および円形リングからなり、前記円板上には、間に少なくとも1つの開口を有する複数の一体型壁区分を有する縁からなる前記中空円筒を有し、前記壁区分のそれぞれは前記開口と接する端に複数の刻み目を有し、前記ロック装置はさらに、環状部分と、前記環状部分上の円形突出部とからなり、前記環状部分と前記円形突出部に延びる複数の溝に、前記円形突出部の上端から突き出た複数の突出物が対応し、前記容器カバーはさらに、上に複数のくぼみを有する円形突出部と、外面に複数の溝を有する円筒形ボディとからなり、前記複数の固定具はさらに、複数の連結脚、複数の連結棒、複数の連結ネック、および半円形ループからなり、前記連結脚は前記連結棒を介して前記連結ネックに結合されていて、前記連結ネックは前記半円形ループに結合されていることを特徴とするウェファ保護容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
