特許
J-GLOBAL ID：201103065577850583
転写装置及び転写方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-085869
公開番号（公開出願番号）：特開2011-216810
出願日： 2010年04月02日
公開日（公表日）： 2011年10月27日
要約：
【課題】成形品の厚さを均一に保つことが可能な転写装置を提供する。【解決手段】基板2における複数の部位の厚さを測定する厚さ測定手段11と、基板1の厚さ方向の一方の面に、薄膜状の紫外線硬化樹脂を設置する紫外線硬化樹脂設置手段12と、基板1の各部位における厚さと、紫外線硬化樹脂設置手段12で設置される基板1の各部位における紫外線硬化樹脂3の膜厚との和が一定になるように厚さ測定手段11の測定結果に応じて紫外線硬化樹脂設置手段12で設置する紫外線硬化樹脂3の量を制御する制御手段9と、微細な転写パターンが外周に形成されている型14により基板1の紫外線硬化樹脂3を押圧し、型14を回転させつつ基板1を移動することによって押圧する部位を移動し、押圧部位に紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化して転写する転写手段13とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
平板状の基板に設けられた紫外線硬化樹脂に、型に形成されている微細な転写パターンを転写する転写装置において、
前記基板における複数の部位の厚さを測定する厚さ測定手段と、
前記基板の厚さ方向の一方の面に、薄膜状の紫外線硬化樹脂を設置する紫外線硬化樹脂設置手段と、
前記基板の各部位における厚さと、前記紫外線硬化樹脂設置手段で設置される前記基板の各部位における紫外線硬化樹脂の膜厚との和が一定になるように前記厚さ測定手段の測定結果に応じて、前記紫外線硬化樹脂設置手段で設置する紫外線硬化樹脂の量を制御する制御手段と、
前記微細な転写パターンが外周に形成されている前記型により前記基板の紫外線硬化樹脂を押圧し、前記型を回転させつつ前記基板を移動することによって押圧する部位を移動し、前記押圧部位に紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化して転写する転写手段と、
を有することを特徴とする転写装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B29C59/04 Z
4F209AA44
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AP11
, 4F209AR12
, 4F209AR14
, 4F209PA03
, 4F209PA04
, 4F209PB01
, 4F209PN06
, 4F209PN09
, 4F209PN13
, 4F209PQ01
, 5F046AA28
, 5F146AA28
