特許
J-GLOBAL ID：201103065711197352

薄膜製造用剥離フィルムの製造方法および薄膜製造用剥離フィルム

発明者：
飯田 修治

飯田 修治 について

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宮原 裕之

宮原 裕之 について

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川崎 薫

川崎 薫 について


出願人/特許権者：
TDK株式会社

TDK株式会社 について


代理人 (1件)： 酒井 伸司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-037948
公開番号（公開出願番号）：特開2002-241526
特許番号：特許第4160731号
出願日： 2001年02月15日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ポリエステルを原材料として形成されたベースフィルムに硬化性シリコーン樹脂を含む塗布液を塗布した後に、当該塗布液を乾燥させることによって前記硬化性シリコーン樹脂による剥離層を前記ベースフィルム上に形成し、当該剥離層が形成されたベースフィルムをロール状に巻き取って電子部品用の薄膜製造用剥離フィルムを製造する製造方法であって、 前記ベースフィルムの厚みが5μm以上30μm未満のときに、前記剥離層が形成されたベースフィルムの幅100mm当り3ニュートン以上17ニュートン以下の範囲内の張力を加えつつ当該ベースフィルムを巻き取り、前記ベースフィルムの厚みが30μm以上100μm以下のときに、前記剥離層が形成されたベースフィルムの幅100mm当り4ニュートン以上28ニュートン以下の範囲内の張力を加えつつ当該ベースフィルムを巻き取ることを特徴とする薄膜製造用剥離フィルムの製造方法。
IPC (3件)：
C08J 7/04 ( 200 6.01) ,  B05D 7/24 ( 200 6.01) ,  B32B 27/00 ( 200 6.01)
FI (4件)：
C08J 7/04 CFD Z ,  B05D 7/24 302 Y ,  B32B 27/00 L ,  B32B 27/00 101
引用特許：
審査官引用 (4件)
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