表示パネルの製造方法

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人はるか国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-046974
公開番号（公開出願番号）：特開2011-181462
出願日： 2010年03月03日
公開日（公表日）： 2011年09月15日
要約：

【課題】基板を一方的にマスクに押し付けても基板とマスクを十分に密着させることができない。静電吸着により基板とマスクの双方を引き合わせることで、基板とマスクを十分に密着させて真空成膜(蒸着、スパッタリング等)を行うことにより、パターン精度の高い表示パネルを提供する。【解決手段】1または複数の表示パネル用回路が形成される基板420とマスク520とを重ねて配置し、当該基板が前記マスクに静電吸着するように、当該マスクに電圧を印加し、当該基板に当該マスクを介して真空成膜する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

1または複数の表示パネル用回路が形成される基板とマスクとを重ねて配置し、前記基板が前記マスクに静電吸着するように、前記マスクに電圧を印加し、前記基板に前記マスクを介して真空成膜することを特徴とする表示パネルの製造方法。

IPC (7件)：

H05B 33/10 , C23C 14/04 , H01L 51/50 , H05B 33/02 , G09F 9/30 , H01L 27/32 , G09F 9/00

FI (8件)：

H05B33/10 , C23C14/04 A , H05B33/14 A , H05B33/02 , G09F9/30 365Z , G09F9/30 338 , G09F9/30 330Z , G09F9/00 338

Fターム (31件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC35 , 3K107CC45 , 3K107DD11 , 3K107DD15 , 3K107DD18 , 3K107EE03 , 3K107GG02 , 3K107GG28 , 3K107GG32 , 3K107GG33 , 4K029AA24 , 4K029BA62 , 4K029CA01 , 4K029HA04 , 4K029JA05 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094BA43 , 5C094EA10 , 5C094FB12 , 5C094GB10 , 5C094JA05 , 5G435AA17 , 5G435BB05 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435HH12 , 5G435KK05

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