特許
J-GLOBAL ID:201103065787740560
ガスセンサ素子及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
渡邉 一平
, 木川 幸治
, 佐藤 博幸
, 小池 成
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-080374
公開番号(公開出願番号):特開2011-214848
出願日: 2010年03月31日
公開日(公表日): 2011年10月27日
要約:
【課題】測定電極保護層に付着した被毒物質を含む溶液が、測定電極の気孔内にまで到達するのを防止し、被毒物質による測定電極の劣化と気孔の閉塞とにより生じる感度低下が抑制された、耐久性の高いガスセンサ素子を提供する。【解決手段】複数の固体電解質層が積層されて構成され、被測定ガスをセンサ素子内に流入させるための外部に連通する空所を有する基材101と、前記空所内における基材101の表面に形成され、その表面が多孔質の測定電極保護層45で覆われた多孔質の測定電極44とを備え、測定電極44の平均細孔径Aと、測定電極保護層45の平均細孔径Bとが0.05≦B/A≦0.9という関係を満たし、測定電極44の平均細孔径が0.5〜15μmであり、測定電極保護層45の平均細孔径が0.05〜9μm、気孔率が5〜50%、厚みが10〜200μmであるガスセンサ素子100。【選択図】図1
請求項(抜粋):
被測定ガス中に含まれる特定のガス成分の濃度を測定するために使用されるガスセンサ素子であって、
複数の固体電解質層が積層されて構成され、被測定ガスをセンサ素子内に流入させるための外部に連通する空所を有する基材と、
前記空所内における前記基材の表面に形成され、その表面が多孔質の測定電極保護層で覆われた多孔質の測定電極とを備え、
前記測定電極の平均細孔径をAとし、前記測定電極保護層の平均細孔径をBとしたとき、それらが0.05≦B/A≦0.9という関係を満たし、
前記測定電極の平均細孔径が0.5〜15μmであり、
前記測定電極保護層の平均細孔径が0.05〜9μm、気孔率が5〜50%、厚みが10〜200μmであるガスセンサ素子。
IPC (1件):
FI (3件):
G01N27/46 327K
, G01N27/46 327E
, G01N27/46 327B
引用特許:
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