特許

J-GLOBAL ID：201103065838616150

マイクロミラーアクチュエータの製造方法

発明者： 尹 容燮 ,  崔 ▲ヒュン▼
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  渡邊 隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-363396
公開番号（公開出願番号）：特開2002-200600
特許番号：特許第3681349号
出願日： 2001年11月28日
公開日（公表日）： 2002年07月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板上にトレンチ対応領域をエッチングする段階と、 前記トレンチ対応領域をエッチングした後、前記基板に絶縁膜及び第1金属膜を蒸着し、前記第1金属膜をパターニングして下部電極及び側面電極を形成する段階と、 前記トレンチ対応領域が中空状態を保つように基板上にフィルム状有機膜をラミネーションする段階と、 前記フィルム状有機膜をラミネーションした後、該フィルム状有機膜にポスト用のホールをパターニングする段階と、 前記フィルム状有機膜上に第2金属膜を蒸着してパターニングした後、前記フィルム状有機膜を除去してパターニングされた前記第2金属膜からなるマイクロミラー、トーションバネ及びポストを形成する段階と、を含むことを特徴とするマイクロミラーアクチュエータの製造方法。

IPC (3件)：

B81C 1/00 ,  B81B 3/00 ,  G02B 26/08

FI (3件)：

B81C 1/00 ,  B81B 3/00 ,  G02B 26/08 E

引用特許：

審査官引用 (1件)

• マイクロメカニズムの互いに対して移動可能な2つの部分を電気的に接続する浮遊部材の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-276846   出願人：エスティーミクロエレクトロニクス・エス・アール・エル