特許
J-GLOBAL ID：201103066089319433
リード形状検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-335969
公開番号（公開出願番号）：特開平3-195041
特許番号：特許第2890577号
出願日： 1989年12月25日
公開日（公表日）： 1991年08月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】被検査ICと光学式センサを相対的に移動させて光学式センサから出射された検査用光線で被検査ICのリード列を走査しその光を光学式センサにより受光することにより被検査ICのリード形状を検査するリード形状検査装置において、光学式センサの出力信号の立ち上りタイミングの間隔と立ち下りタイミングの間隔からリード幅を測定することによりリード形状の検査を行うことを特徴とするリード形状検査装置
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 J
, G01N 21/88 E
