特許

J-GLOBAL ID：201103066165428930

外観検査装置

発明者： 井戸 勝也
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (2件)： 特許業務法人信友国際特許事務所 ,  舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-183552
公開番号（公開出願番号）：特開2011-038784
出願日： 2009年08月06日
公開日（公表日）： 2011年02月24日
要約：

【課題】外観検査に要する手間やコストを低減する上で有利な外観検査装置を提供する。【解決手段】デジタルカメラ18の撮像光学系の色収差が補正されたプリント配線基板4の色収差補正カラー画像データDc2を生成する。この色収差補正カラー画像データDc2と座標位置が一致するように生成した検査用データDBを色収差補正カラー画像データDc2と照合してプリント配線基板4の外観検査を行う。プリント配線基板4の外観検査は、例えば、電子部品2の位置ずれの大きさを検出することで、あるいは、電子部品2の欠品を検出することでなされる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

撮像光学系を有し、該撮像光学系を用いて座標位置の基準点となる複数のアライメントマークを有する被検査物を撮像することにより前記被検査物のカラー画像データを生成する撮像手段と、 前記被検査物のカラー画像データを、赤色、緑色、青色の3原色の成分に分解した第1、第2、第3の画像データに変換する画像データ変換手段と、 前記第1、第2、第3の画像データから前記アライメントマークの輪郭を表す第1、第2、第3の輪郭データをそれぞれ抽出する輪郭データ抽出手段と、 前記第1、第2、第3の輪郭データのうち、予め特定された1つの輪郭データを特定輪郭データとしたとき、前記特定輪郭データに対して残りの2つの輪郭データが合致するように、前記第1、第2、第3の画像データを変換して第1、第2、第3の補正画像データを生成する画像データ補正手段と、 前記第1、第2、第3の補正画像データを合成することにより、前記撮像光学系の色収差が補正された前記被検査物の色収差補正カラー画像データを合成する画像データ合成手段と、 前記色収差補正カラー画像データに含まれる前記アライメントマークの座標位置に対して、前記被検査物の設計データに含まれるアライメントマークの座標位置が一致するように前記設計データを変換することにより検査用データを生成する検査用データ生成手段と、 前記色収差補正カラー画像データと、前記検査用データとを照合することにより前記被検査物の外観検査を行う外観検査手段とを備える、 外観検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/956

FI (1件)：

G01N21/956 B

Fターム (16件)：

2G051AA61 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051BC01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC11 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051EB09 ,  2G051ED12 ,  2G051ED15 ,  2G051ED22