特許
J-GLOBAL ID：201103066173982431
板状体の研磨方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-074681
公開番号（公開出願番号）：特開平2-256455
特許番号：特許第2853148号
出願日： 1989年03月27日
公開日（公表日）： 1990年10月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】硝子板等の板状体に研磨パッドを押し付けた状態で、研磨パッドと板状体の間に研磨剤を供給しながら前記研磨パッドを板状体上を相対的に移動させ、板状体を研磨する板状体の研磨方法において、前記板状体を研磨テーブル上に載置して該研磨テーブルと共に移動させると共に、前記研磨テーブルの上方に前記板状体の移動方向に沿って多孔質材でなる複数の研磨パッドを配置し、前記複数の研磨パッドを偏心回転運動させて前記板状体を研磨すると共に、前記研磨パッドを前記板状体の面に対して直交する方向に微小振動させて前記供給された研磨剤及び研磨により発生する研磨屑が前記研磨パッドに付着するのを抑止することを特徴とした板状体の研磨方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 29/00 N
, B24B 37/04 B
