特許

J-GLOBAL ID：201103066187404880

静電塗布方法及び装置

発明者： 福田 武司 ,  浅木 裕隆 ,  浅野 俊
出願人/特許権者： 国立大学法人埼玉大学
代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-191877
公開番号（公開出願番号）：特開2011-041908
出願日： 2009年08月21日
公開日（公表日）： 2011年03月03日
要約：

【課題】比較的速い成膜速度で、面内均一性の高い薄膜の成膜が可能な、薄膜の製造方法及びこの製造方法に利用できる薄膜の製造装置を提供すること。【解決手段】固形分を含む塗布液を電圧が印加されたノズルから放出して形成した帯電した塗布液粒子を、前記ノズルと反対の極に帯電した被塗布面に堆積させて、固形分含有層を形成する薄膜の製造方法。前記帯電した塗布液粒子を、少なくとも2つの開口とこれら開口の間に延在する本体とからなり、前記本体が前記塗布液粒子と同一の極に帯電した導管の一方の開口から他方の開口を経由して前記被塗布面に堆積させる。塗布液供給手段、塗布液供給手段から塗布液を放出するための少なくとも1つのノズル、ノズルと被塗布物の間に電圧を印加するための電源、ノズルと被塗布物の間に配置される、少なくとも2つの開口とこれら開口の間に延在する本体とからなる帯電し得る材料からなる導管を有する静電塗布装置。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

固形分を含む塗布液を電圧が印加されたノズルから放出して形成した帯電した塗布液粒子を、前記ノズルと反対の極に帯電した被塗布面に堆積させて、固形分含有層を形成する薄膜の製造方法であって、 前記帯電した塗布液粒子を、少なくとも2つの開口とこれら開口の間に延在する本体とからなり、前記本体が前記塗布液粒子と同一の極に帯電した導管の一方の開口から他方の開口を経由して前記被塗布面に堆積させることを特徴とする薄膜の製造方法。

IPC (2件)：

B05D 1/04 ,  B05B 5/08

FI (2件)：

B05D1/04 Z ,  B05B5/08 F

Fターム (8件)：

4D075AA09 ,  4D075CA22 ,  4D075DA06 ,  4D075DB11 ,  4D075DC24 ,  4F034AA04 ,  4F034BA01 ,  4F034DA24

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-105862
  
• 特開昭60-068064
  
• 塗布装置および塗布方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-237912   出願人：富士写真フイルム株式会社