特許

J-GLOBAL ID：201103066390200654

照明光学系

発明者： 中山 修一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-013039
公開番号（公開出願番号）：特開2011-022553
出願日： 2010年01月25日
公開日（公表日）： 2011年02月03日
要約：

【課題】 積分球からの射出光と、クリティカル照明法とを組み合わせることで、被照射面上での均一な照度分布を達成する照明光学系を提供する。【解決手段】 光源2から被照射面6aまでの光路上に、光源2からの光を導入するための入射側開口11と、入射側開口11から導入した光をその内部で拡散反射を繰り返し均一な光束発散度を持つ光として射出するための射出側開口12とが形成された積分球1を配置した照明光学系であって、射出側開口11は、照明光学系の光軸が積分球1の中心と射出側開口11の中心とを通る線と一致し、且つ、光源2からの光が積分球1を通って、射出側開口11と共役関係にある被照射面6aを照明するように、積分球1に形成される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源から被照射面までの光路上に、前記光源からの光を導入するための入射側開口と、前記入射側開口から導入した光をその内部で拡散反射を繰り返し均一な光束発散度分布の光として射出するための射出側開口とが形成された積分球を配置した照明光学系であって、 前記射出側開口は、前記照明光学系の光軸が前記積分球の中心と前記射出側開口の中心とを通る線と一致し、且つ、前記光源からの光が前記積分球を通って前記射出側開口と共役関係にある前記被照射面を照明するように、前記積分球に形成されることを特徴とする照明光学系。

IPC (2件)：

G02B 19/00 ,  G02B 21/12

FI (2件)：

G02B19/00 ,  G02B21/12

Fターム (6件)：

2H052AC03 ,  2H052AC07 ,  2H052AC25 ,  2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA09