磁気研磨装置の磁気研磨ヘッド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三浦邦夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-013823
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198798
特許番号：特許第4395231号
出願日： 2000年01月24日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】磁性及び研磨性を有する磁性砥粒を、磁石を有する磁気研磨ヘッドで保持して被研磨物を研磨する磁気研磨装置において、上記磁気研磨ヘッドの先端に複数の毛状部材を植設したこと、及びこれら毛状部材は、上記磁気研磨ヘッドに吸着される磁性砥粒内に全体として埋没される態様で植設されていること、を特徴とする磁気研磨装置の磁気研磨ヘッド。

IPC (1件)：