現像処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐々木聖孝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-216430
公開番号（公開出願番号）：特開2003-031478
特許番号：特許第4052820号
出願日： 2001年07月17日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被処理基板をほぼ水平に載せて搬送するための搬送体を水平方向に敷設してなる搬送路と、前記搬送路上で前記基板を搬送するために前記搬送体を駆動する搬送駆動手段と、前記搬送路上で前記基板の被処理面に対して外周壁を形成するための枠と、前記基板の被処理面が浸かるように前記枠の内側に現像液を供給するための現像液供給手段とを有し、前記枠内で前記基板の被処理面を前記現像液に浸けた状態で、前記基板を前記搬送路上で所定の第1の位置からそれよりも搬送方向に所定距離だけ下流側の第2の位置まで搬送する現像処理装置。

IPC (2件)：