特許
J-GLOBAL ID：201103066787385804
薄膜部材の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-344125
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148120
特許番号：特許第4649727号
出願日： 2000年11月10日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 空中に位置するように支持された平板状部を備え、前記平板状部は、1層又は複数層の膜からなる平面部と、該平面部に混在するように形成され前記平面部の表面側又は裏面側に突出した凸条部とを有する薄膜部材の製造方法であって、
第一の犠牲層を形成する工程と、
前記第一の犠牲層に、前記平板状部を空中に支持するための接続部に応じた開口を形成する工程と、
前記第一の犠牲層上に第二の犠牲層を形成する工程と、
前記第二の犠牲層に、前記接続部及び前記凸条部に応じた開口を形成する工程と、
前記平板状部及び前記接続部を構成する薄膜を形成する工程と、
前記第一及び第二の犠牲層を除去する工程と、
を有し、
前記凸条部は、前記平面部を、前記平板状部の周辺部分から隔てられた1つ以上の領域、及び、当該各領域の周辺部分の一部が前記平板状部の周辺部分の一部となる複数の領域に、区分するように、形成され、
前記凸条部は、前記平板状部の周辺部分の任意の2点を結ぶ各仮想直線について、当該仮想直線の全体に渡っては前記凸条部が位置することがないように、形成され、
前記平面部及び前記凸条部は、互いに同じ層数の層からなる膜が互いに連続して形成されたものであることを特徴とする薄膜部材の製造方法。
IPC (4件)：
G01J 5/40 ( 200 6.01)
, G01J 1/02 ( 200 6.01)
, G01J 5/34 ( 200 6.01)
, H01L 27/14 ( 200 6.01)
G01J 5/40
, G01J 1/02 C
, G01J 5/34
, H01L 27/14 K
