特許
J-GLOBAL ID:201103066821361618

光電変換装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-273477
公開番号(公開出願番号):特開2000-082832
特許番号:特許第3685964号
出願日: 1999年09月27日
公開日(公表日): 2000年03月21日
請求項(抜粋):
【請求項1】絶縁基板上の第1の導電膜と、前記第1の導電膜上に接して形成された光電変換層と、レーザースクライブによって前記光電変換層および前記第1の導電膜を貫通して予め設けられた第1の開溝および第2の開溝と、予め設けられた前記第1の開溝を充填する第1の絶縁体と、前記光電変換層上に接して、前記第1の絶縁体と同時に形成された第2の絶縁体と、前記光電変換層、前記第1の絶縁体および前記第2の絶縁体の上に接して形成され、かつ予め設けられた前記第2の開溝を充填して前記第1の導電膜に接続する第2の導電膜と、前記第2の導電膜を貫通して前記第2の絶縁体上に設けられた、第3の開溝とを有し、前記第2の開溝は、前記第1の開溝と前記第3の開溝との間に位置することを特徴とする光電変換装置。
IPC (1件):
H01L 31/04
FI (1件):
H01L 31/04 S
引用特許:
審査官引用 (9件)
  • 特開平1-171284
  • 特開昭62-084569
  • 特開昭61-280679
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