特許

J-GLOBAL ID：201103066830078937

テンプレート、テンプレートの製造方法及びパターン形成方法

発明者： 塩原 英志 ,  菅野 正洋
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-263815
公開番号（公開出願番号）：特開2011-108920
出願日： 2009年11月19日
公開日（公表日）： 2011年06月02日
要約：

【課題】凹凸の寸法を補正して高精度の寸法を実現し、また、同一のマザーテンプレートから異なる寸法を有する複数の複製テンプレートを効率的に作製可能なテンプレート、テンプレートの製造方法、及び、パターン形成方法を提供する。【解決手段】被処理基板50の上に設けられた転写層51に押し付けられることにより転写層にパターンを転写するためのテンプレートが提供される。テンプレート110は、第1型10を備え、第1型は、第1主面11aに第1凹凸10dpが設けられた第1基体11と、第1凹凸を覆い第1基体と同じ材料からなる第1膜12と、を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被処理基板の上に設けられた転写層に押し付けられることにより前記転写層にパターンを転写するためのテンプレートであって、 第1主面に第1凹凸が設けられた第1基体と、 前記第1凹凸を覆い前記第1基体と同じ材料からなる第1膜と、 を有する第1型を備えたことを特徴とするテンプレート。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B29C 33/38 ,  B29C 59/02

FI (3件)：

H01L21/30 502D ,  B29C33/38 ,  B29C59/02 B

Fターム (18件)：

4F202AJ09 ,  4F202AJ11 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ09 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28 ,  5F146AA28