特許
J-GLOBAL ID：201103066846901927
半導体角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
伊藤 洋二
, 三浦 高広
, 水野 史博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-220922
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091265
特許番号：特許第4427876号
出願日： 2000年07月21日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体基板を加工することにより形成され、
基部(10)と、所定方向に振動する振動子(20、30)と、この振動子及び前記基部を連結する複数個の梁部(21、31)とを備え、
前記振動子の振動に基づいて角速度を検出するようにした振動型の半導体角速度センサにおいて、
前記複数個の梁部は、それぞれが、平行に離間して配置された一対の梁(22、23、32、33)と、これら一対の梁を連結する連結部(24、34)とから構成されており、
前記一対の梁は、コの字形状をなす第1の梁(22、32)と、この第1の梁の外周側にて前記第1の梁に対して相似形に配置されたコの字形状をなす第2の梁(23、33)とから構成され、
前記第1及び第2の梁のうち前記コの字形状における互いに平行な一対の平行棒部(22a、23a、32a、33a)が、前記所定方向にたわむようになっており、
前記連結部(24、34)は、前記第1及び第2の梁のうち前記コの字形状における前記平行棒部の一端を接続する接続棒部(22b、23b、32b、33b)同士を連結していることを特徴とする半導体角速度センサ。
IPC (4件)：
G01C 19/56 ( 200 6.01)
, G01P 9/04 ( 200 6.01)
, G01P 15/125 ( 200 6.01)
, H01L 29/84 ( 200 6.01)
G01C 19/56
, G01P 9/04
, G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
